Un nouvel équipement vient d’être installé au CIMAP permettant de coupler l’imagerie MEB avec la gravure FIB et l’analyse TOF-SIMS.
Le CIMAP, Centre de Recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique (UMR 6252 CNRS, CEA, Ensicaen, Université de Caen) vient d’acquérir un équipement couplant l’imagerie de microscopie électronique à balayage (MEB) avec une sonde ionique focalisée plasma (FIB) pour la gravure et un spectromètre de masse des ions secondaires par temps de vol (TOF-SIMS). Cet appareil, la NanoSpace a été développé par la Société Orsay Physics basée à Fuveau. Cette acquisition a été cofinancée par la région Normandie, les Fonds Européens de Développement Régional et le Ministère de l’Enseignement Supérieur, de la Recherche et de l’Innovation. La NanoSpace vient compléter le parc instrumental de caractérisation microstructurale à l’échelle du nanomètre du laboratoire, ainsi que dans un champ plus large, celui de la Plateforme IRMA regroupant les laboratoires normands CIMAP, CRISMAT et GPM.
Cet appareil, unique au monde, permet dans un environnement UHV d’obtenir une résolution inférieure à 4 nm en MEB et une résolution de 12 nm en FIB avec une vitesse d’abrasion 50 fois plus rapide qu’une source Gallium. En ce qui concerne le TOF-SIMS, la résolution en masse est de 4500 sur le 28Si, une résolution en imagerie inférieure à 60 nm sur un domaine en masse de 0 à 500u.
Ce NanoSpace offre la possibilité de réaliser des images corrélatives SEM/SIMS voire SEM/EDX/SIMS puisqu’il peut aussi accueillir un spectromètre EDX-UHV.
Contact : fabrice.gourbilleau@ensicaen.fr